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ローカルスクラバーの世界市場予測（～2030年）：タイプ別（バーンスクラバー、プラズマスクラバー、ヒートウェットスクラバー、ドライスクラバー）、用途別（CVD（SiH4、NF3、WF6、B2H6、TEOS、TDMAT、N2O、C3H6等）、拡散（SiH4、TEOS、DCS、NH3、ClF3、B2H6等）、エッチング（CF4、SF6、BCl3、Cl2、HBr等）、その他）